儀器狀態
Sputter Coater


SEM


Laser lithography


Wafer bonder


SUSS MA8/BA8


SUSS MA6/BA6


Spin caoter 1


LPCVD


若有需求,請向中心聯絡
PECVD


APCVD


若有需求,請向中心聯絡
Oxford RIE


Oxford ICP


RIE Descum


O2 Descum


Samco ICP


RTA


Sputter


E-Beam Metal
林順區 使用中

E-Beam Oxide


Ellipsometer


EDS


Laser confocal microscope


Surface Profile






  無塵室
林順區
2018-06-21 12:48:18







  無塵室即時影像  
卓越大樓 走道一

卓越大樓 走道二
(分機13)
卓越大樓 208黃光室
(分機14)
卓越大樓 301爐管區
(分機15)
 
         
卓越大樓 303乾蝕刻區
(分機16)
卓越大樓 305薄膜區
(分機17)
卓越大樓 307分析區
(分機12)
卓越大樓 309蝕刻區
(分機13)
 
         

公告
 
中心公告  中心聯絡資訊 2015-02-032025-02-03
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洪嘉吟 2018-11-14
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莊學鵬 2018-07-15
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