儀器狀態
Laser lithography


Wafer bonder


Aligner MABA8


Aligner MA6


Spin caoter 1


LPCVD


若有需求,請向中心聯絡
PECVD


APCVD


若有需求,請向中心聯絡
Oxford RIE


Oxford ICP


RIE Descum


O2 Descum


Samco ICP


Sputter


E-Beam Metal


E-Beam Oxide


D3


卓越大樓測試中
Laser confocal microscope


D7


卓越大樓測試中




  無塵室









  無塵室即時影像  
卓越大樓
走道一
卓越大樓
走道二
卓越大樓
208黃光室
卓越大樓
301爐管區
 
         
卓越大樓
303乾蝕刻區
卓越大樓
305薄膜區
卓越大樓
307分析區
卓越大樓
309蝕刻區
 
         

公告
 
中心公告  中心聯絡資訊 2015-02-032025-02-03
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課程預約停權名單
 
儀器預約停權名單
 
吳東翰 2017-12-11
朱宗祐 2017-09-17
許展榮 2017-09-17
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黃誠印 2018-03-05
葉騰遠 2018-03-05
洪韶謙 2018-02-24
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