儀器狀態
Sputter Coater


SEM


Laser lithography


Wafer bonder


SUSS MA8/BA8


SUSS MA6/BA6


Spin caoter 1


LPCVD


若有需求,請向中心聯絡
PECVD


APCVD


若有需求,請向中心聯絡
Oxford RIE


Oxford ICP


RIE Descum


O2 Descum


Samco ICP


RTA


Sputter


E-Beam Metal
陳昱佳 使用中

E-Beam Oxide


Ellipsometer


EDS


Laser confocal microscope


Surface Profile






  無塵室
卓越值班-施韋廷
2018-12-14 23:11:26







  無塵室即時影像  
卓越大樓 走道一

卓越大樓 走道二
(分機13)
卓越大樓 208黃光室
(分機14)
卓越大樓 301爐管區
(分機15)
 
         
卓越大樓 303乾蝕刻區
(分機16)
卓越大樓 305薄膜區
(分機17)
卓越大樓 307分析區
(分機12)
卓越大樓 309蝕刻區
(分機13)
 
         

公告
 
中心公告  中心聯絡資訊 2015-02-032025-02-03
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課程預約停權名單
 
儀器預約停權名單
 
張育 2019-05-04
洪嘉吟 2018-11-14
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陳奕廷 2019-06-01
林岱頡 2019-04-02
黃靖文 2019-03-05
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