儀器狀態
Sputter Coater


SEM


Laser lithography


Wafer bonder


SUSS MA8/BA8


SUSS MA6/BA6


Spin caoter 1


LPCVD


若有需求,請向中心聯絡
PECVD


APCVD


若有需求,請向中心聯絡
Oxford RIE


Oxford ICP


RIE Descum


O2 Descum


Samco ICP


RTA


Sputter


E-Beam Metal


E-Beam Oxide


Ellipsometer


EDS


Laser confocal microscope


Surface Profile






  無塵室









  無塵室即時影像  
卓越大樓 走道一

卓越大樓 走道二
(分機13)
卓越大樓 208黃光室
(分機14)
卓越大樓 301爐管區
(分機15)
 
         
卓越大樓 303乾蝕刻區
(分機16)
卓越大樓 305薄膜區
(分機17)
卓越大樓 307分析區
(分機12)
卓越大樓 309蝕刻區
(分機13)
 
         

公告
 
中心公告  中心聯絡資訊 2015-02-032025-02-03
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課程預約停權名單
 
儀器預約停權名單
 
洪嘉吟 2018-11-14
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黃靖文 2019-03-05
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