儀器狀態
Laser lithography
張勤煜 使用中

卓越大樓測試中
Wafer bonder


卓越大樓測試中
Aligner MA6


Aligner MABA8


卓越大樓測試中
Spin caoter 1


卓越大樓測試中
LPCVD
張勤煜 使用中

卓越大樓測試中
PECVD


APCVD
張勤煜 使用中

Oxford RIE


卓越大樓測試中
Oxford ICP


卓越大樓測試中
RIE Descum


卓越大樓測試中
O2 Descum


卓越大樓測試中
Samco ICP


卓越大樓測試中
Sputter


卓越大樓測試中
E-Beam Metal
張勤煜 使用中

卓越大樓測試中
E-Beam Oxide
林順區 使用中

D3


卓越大樓測試中
D4


卓越大樓測試中
D7


卓越大樓測試中




  無塵室









  無塵室即時影像  
卓越大樓-黃光室207
黃光室207
卓越大樓-黃光室208
黃光室208
卓越大樓-爐管區301
爐管區301
卓越大樓-乾蝕刻區303
乾蝕刻區303
 
         
卓越大樓-薄膜區305
薄膜區305
卓越大樓-分析區307
分析區307
卓越大樓-蝕刻區309
蝕刻區309
 
         

公告
 
中心公告  中心聯絡資訊 2015-02-032025-02-03
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課程預約停權名單
 
儀器預約停權名單
 
吳東翰 2017-12-11
朱宗祐 2017-09-17
許展榮 2017-09-17
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黃誠印 2018-03-05
洪韶謙 2018-02-24
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