儀器狀態
Gold Sputter


SEM



Y軸故障,2/23起僅開放平日上班時間(9:00~18:00)使用,並且請放樣本進腔體前必須用氣槍清潔載台及樣本上碎屑,如未清潔視為破壞儀器論處;如Y軸無法移動,請立即停止使用並通知中心人員
Laser lithography-DWL2000


Substrate bonder


SUSS MA8/BA8



Vacuum contact模式須修復chuck部分,未修復期間請勿使用vacuum contact模式

SUSS MA6/BA6



Vacuum contact模式須修復chuck部分,未修復期間請勿使用vacuum contact模式

Multi Steps Spin Coater


破片樣本如果小於1.5*1.5cm或重量較重請自備bluetape,以免光阻流入pump管道
2 Steps Spin Coater


破片樣本如果小於1.5*1.5cm請自備bluetape,以免光阻流入pump管道
LPCVD


尚未啟用
PECVD


APCVD


尚未啟用
Oxford ICPRIE
鄭仲辰 使用中


Status update:03052024
1. RIE: 預計下週安裝turbo pump
2. ICP: 正常使用,請全程監控製程,確認ICP CP1及CP2介於25%~75%
*清腔製程請放置carrier wafer
RIE Descum


O2 Descum


Samco ICP


RTA


Sputter


gun 1(Magnet)維修中
gun 2(Oxide)與gun 3(非磁性)可正常使用,若要更改DC及RF接線請洽中心人員處理

E-Beam Metal


E-Beam Oxide


EDS


Ellipsometer


Laser confocal microscope









  無塵室
鄭仲辰
2024-03-19 18:05:38
郭挺之
2024-03-19 18:05:30






公告
 
中心公告  無塵室夜間使用時段進出規則更新 2023-09-062024-12-31
中心公告  【廠務保養】卓越無塵室關廠:2024/3/22(五)15:00-18:00 2024-03-112024-03-23
中心公告  中心無塵室群組訊息推播更換為Telegram囉!! 2023-07-042024-12-31
中心公告  113年度論文競賽開始報名囉! 2024-03-012024-04-01
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課程預約停權名單
 
儀器預約停權名單
 
林澤熏 2024-04-04
朱昱全 2024-02-11
夏筠庭 2024-01-16
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無資料
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