儀器狀態
Sputter Coater


SEM


Laser lithography


Wafer bonder


Aligner MABA8


Aligner MA6


Spin caoter 1


LPCVD


若有需求,請向中心聯絡
PECVD


APCVD


若有需求,請向中心聯絡
Oxford RIE


Oxford ICP


RIE Descum


O2 Descum


Samco ICP


Sputter


E-Beam Metal


E-Beam Oxide


橢偏儀


D3


卓越大樓測試中
Laser confocal microscope


D7


卓越大樓測試中







  無塵室









  無塵室即時影像  
卓越大樓 走道一

卓越大樓 走道二
(分機13)
卓越大樓 208黃光室
(分機14)
卓越大樓 301爐管區
(分機15)
 
         
卓越大樓 303乾蝕刻區
(分機16)
卓越大樓 305薄膜區
(分機17)
卓越大樓 307分析區
(分機12)
卓越大樓 309蝕刻區
(分機13)
 
         

公告
 
中心公告  中心聯絡資訊 2015-02-032025-02-03
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課程預約停權名單
 
儀器預約停權名單
 
吳東翰 2017-12-11
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黃誠印 2018-03-05
葉騰遠 2018-03-05
洪韶謙 2018-02-24
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