國立臺灣大學奈米機電系統研究中心儀器網路即時預約系統首頁

儀器狀態

Gold Sputter	SEM 呂國聖使用中呂國聖 09:30~12:29 Y軸故障，2/23起僅開放平日上班時間(9:00~18:00)使用，並且請放樣本進腔體前必須用氣槍清潔載台及樣本上碎屑，如未清潔視為破壞儀器論處；如Y軸無法移動，請立即停止使用並通知中心人員	Laser lithography-DWL2000	Substrate bonder
SUSS MA8/BA8 Vacuum contact模式須修復chuck部分，未修復期間請勿使用vacuum contact模式汞燈開關方式請見儀器上的說明，有任何異常請通知中心人員	SUSS MA6/BA6 洪敬庭使用中洪敬庭 09:30~11:59 Vacuum contact模式須修復chuck部分，未修復期間請勿使用vacuum contact模式	Multi Steps Spin Coater 李相甫使用中破片樣本如果小於1.5*1.5cm或重量較重請自備bluetape，以免光阻流入pump管道	2 Steps Spin Coater 破片樣本如果小於1.5*1.5cm請自備bluetape，以免光阻流入pump管道
LPCVD 尚未啟用	PECVD	APCVD 尚未啟用	Oxford ICPRIE 周俊宇使用中周俊宇 09:30~12:29 RIE: 正常開放使用(4" carrier) ICP: 正常開放使用(8" carrier) 清腔製程請放置carrier wafer * 如發現機械手臂有任何不正常作動及晶圓試片位移請通知中心人員
RIE Descum	O2 Descum	Samco ICP	RTA
Sputter 卓越上課卡-003 使用中檢定課程 09:30~12:30 Gun 1(Magnetic)維修中，預計四月底零件到貨 Gun 2(Oxide)與Gun 3(非磁性)可正常使用，若要更改DC及RF接線請洽中心人員處理	E-Beam Metal	E-Beam Oxide	EDS
Ellipsometer	Laser confocal microscope

無塵室

呂國聖 2024-04-30 09:36:17	李相甫 2024-04-30 09:18:55	李佾儒 2024-04-30 09:07:29	周俊宇 2024-04-30 08:44:56
黃詩淳 2024-04-30 09:31:08