儀器狀態
E-beam Evaporator


使用機台時,請先將機台右邊的兩個電源開關打開,使用完畢後再關閉(現場有標示,遵照現場標示動作);該機台儀器訓練暨檢定課程已開放選課;儀器使用預約網址: https://goo.gl/vZYdlW
RF Sputter


Parylene Deposition System


RIE


原RIE搬移至卓越大樓,目前提供製程協助,欲做該製程請先至辦公室填寫預約表,統一於下一周星期一上午由中心協助製程
O2 plasma


Karl Suss Aligner


取消搬遷,最晚預計4/28前可以使用
EVG Aligner


取消搬遷,預計3/28組裝,3/29復機可用
多段式旋轉塗佈機儀


Laurell Spin Coater


Wire Bonder


Probe-Type Surface Analyser


取消搬遷,預計3月底組裝,4月初復機可用
Optical microscope


Optics-Type Surface Analyser


取消搬遷,預計3月底組裝,4月初復機可用
Box Furnace


Dicing Saw


E-beam (Oxide major)


搬移至卓越大樓,等無塵室完工,經校方同意開放後方可使用
Sputter Coater


SEM鍍金機
SEM


搬遷至卓越大樓前置作業拆卸
SAMCO ICP


搬移至卓越大樓,等無塵室完工,經校方同意開放後方可使用
EDS


搬遷至卓越大樓前置作業拆卸
Laser lithography
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
Spin caoter


卓越大樓測試中
Aligner MA6
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
Aligner MABA6
工讀生卡-03 使用中

Aligner MABA8
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
Wafer bonder


卓越大樓測試中
Bench
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
LPCVD
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
A4 Scrubber


卓越大樓測試中
APCVD
工讀生卡-03 使用中

Oxford RIE
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
Oxford ICP
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
RIE Descum
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
O2 Descum
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
RTA
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
Sputter


卓越大樓測試中
E-Beam Metal
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
C2
工讀生卡-03 使用中

D3
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
D4
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中
D7
工讀生卡-03 使用中

卓越大樓測試中










  無塵室









  無塵室即時影像  
爐管室1(分機15):
E-beam、Sputter、RIE。
爐管室2(分機15):
PECVD、Newly E-beam。
爐管室3(分機15):
E-beam (Oxide major)、SAMCO ICP、Parylene。
蝕刻室(分機13):
化學清洗槽、O2 plasma。
黃光室1(分機14):
化學清洗槽、Spin Coater。
黃光室2(分機14):
Karl Suss Aligner、EVG Aligner。
分析室1(分機12):
Optical-Type Surface analyzer、Optical microscope、WireBond。
分析室2(分機12):
Probe-Type Surface analyzer、SEM、Dicing Saw、Box Furnace。

公告
 
中心公告  中心聯絡資訊 2015-02-032025-02-03
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課程預約停權名單
 
儀器預約停權名單
 
朱宗祐 2017-09-17
許展榮 2017-09-17
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無資料
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