儀器狀態
E-beam Evaporator


目前抽真空僅需一小時 勿佔用設備 預約網址https://goo.gl/ADxzi8
RF Sputter


Parylene Deposition System


RIE


O2 plasma
賴知佑 使用中

Karl Suss Aligner


EVG Aligner


多段式旋轉塗佈機儀


Laurell Spin Coater


Wire Bonder


停用
Probe-Type Surface Analyser


Optical microscope
林順區 使用中

Optics-Type Surface Analyser


目前干射故障,但是雷射共軛焦正常,但由於眾多使用者不會使用,免費幫已經取得白光干射權限之同學補上雷射共軛焦,若有其他同學也有需求,請洽中心林博分機21
Box Furnace


Dicing Saw


零件損壞,待更換




  無塵室









  無塵室即時影像  
爐管室1(分機15):
E-beam、Sputter、RIE。
爐管室2(分機15):
PECVD、Newly E-beam。
爐管室3(分機15):
E-beam (Oxide major)、SAMCO ICP、Parylene。
蝕刻室(分機13):
化學清洗槽、O2 plasma。
黃光室1(分機14):
化學清洗槽、Spin Coater。
黃光室2(分機14):
Karl Suss Aligner、EVG Aligner。
分析室1(分機12):
Optical-Type Surface analyzer、Optical microscope、WireBond。
分析室2(分機12):
Probe-Type Surface analyzer、SEM、Dicing Saw、Box Furnace。

公告
 
中心公告  中心聯絡資訊 2015-02-032025-02-03
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課程預約停權名單
 
儀器預約停權名單
 
周俊光 2020-11-01
陳光宇 2020-10-20
鄭勛庭 2020-08-24
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林銘文 2020-08-19
許誠恩 2020-08-19
林冠州 2020-08-19
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