國立臺灣大學奈米機電系統研究中心儀器網路即時預約系統首頁

儀器狀態

E-beam Evaporator 已打包，11月起無塵室整修，工期約5個月	New Sputter 黃詩淳使用中已打包，11月份起無塵室整修，工期約5個月	Parylene Deposition System 已打包，11月份起無塵室整修，工期約5個月	RIE 已打包，11月起無塵室整修，工期約5個月
Air plasma 已打包，11月起無塵室整修，工期約5個月	Suss MA6 Aligner 故障	EVG Aligner 已打包，11月起無塵室整修，工期約5個月	2 Steps Spin Coater 已打包，11月起無塵室整修，工期約5個月
Probe-Type Surface Analyser 已打包，11月起無塵室整修，工期約5個月	Box Furnace 已打包，11月起無塵室整修，工期約5個月	New Dicing Saw 已打包，11月份起無塵室整修，工期約5個月

無塵室