儀器狀態
E-beam Evaporator


下週一六月二十五日下午三點前復機完畢
RF Sputter


儀器使用預約網址: https://goo.gl/raUxpM;目前真空只需抽1~2小時即可,切勿長期占用機台
Parylene Deposition System


RIE


O2 plasma


Karl Suss Aligner


目前已經組裝完成,如欲使用但尚無權限者,可自行尋找3人,林博將會親自授課訓練並檢定
EVG Aligner


多段式旋轉塗佈機儀


機台更換,若已有權限者,中心將於每周的星期一下午2:00免費進行訓練及檢定,請有需求的使用者,可已於每周一下午2:00到應力所200
Laurell Spin Coater


Wire Bonder


Probe-Type Surface Analyser


目前因復歸時會發生X軸撞機,目前先將主機開啟,請使用者直接使用不需要作復歸,使用完後,電腦及主設備請勿關閉
Optical microscope


Optics-Type Surface Analyser


目前干射故障,但是雷射共軛焦正常,但由於眾多使用者不會使用,免費幫已經取得白光干射權限之同學補上雷射共軛焦,若有其他同學也有需求,請洽中心林博分機21
Box Furnace


Dicing Saw






  無塵室









  無塵室即時影像  
爐管室1(分機15):
E-beam、Sputter、RIE。
爐管室2(分機15):
PECVD、Newly E-beam。
爐管室3(分機15):
E-beam (Oxide major)、SAMCO ICP、Parylene。
蝕刻室(分機13):
化學清洗槽、O2 plasma。
黃光室1(分機14):
化學清洗槽、Spin Coater。
黃光室2(分機14):
Karl Suss Aligner、EVG Aligner。
分析室1(分機12):
Optical-Type Surface analyzer、Optical microscope、WireBond。
分析室2(分機12):
Probe-Type Surface analyzer、SEM、Dicing Saw、Box Furnace。

公告
 
中心公告  中心聯絡資訊 2015-02-032025-02-03
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課程預約停權名單
 
儀器預約停權名單
 
洪嘉吟 2018-11-14
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莊學鵬 2018-07-15
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