儀器狀態
E-beam Evaporator


儀器使用預約網址: https://goo.gl/vZYdlW;目前真空只需抽1~2小時即可,切勿長期占用機台
RF Sputter


儀器使用預約網址: https://goo.gl/raUxpM;目前真空只需抽1~2小時即可,切勿長期占用機台
Parylene Deposition System


RIE


O2 plasma


Karl Suss Aligner


目前已經組裝完成,如欲使用但尚無權限者,可自行尋找3人,林博將會親自授課訓練並檢定
EVG Aligner


多段式旋轉塗佈機儀


Laurell Spin Coater


Wire Bonder


Probe-Type Surface Analyser
維修卡-02 使用中

Optical microscope


Optics-Type Surface Analyser


目前干射故障,但是雷射共軛焦正常,但由於眾多使用者不會使用,故中心於6/5星期一早上9點半,免費幫已經取得白光干射權限之同學補上雷射共軛焦,若有其他同學也有需求,請洽中心林博分機21
Box Furnace


Dicing Saw






  無塵室









  無塵室即時影像  
爐管室1(分機15):
E-beam、Sputter、RIE。
爐管室2(分機15):
PECVD、Newly E-beam。
爐管室3(分機15):
E-beam (Oxide major)、SAMCO ICP、Parylene。
蝕刻室(分機13):
化學清洗槽、O2 plasma。
黃光室1(分機14):
化學清洗槽、Spin Coater。
黃光室2(分機14):
Karl Suss Aligner、EVG Aligner。
分析室1(分機12):
Optical-Type Surface analyzer、Optical microscope、WireBond。
分析室2(分機12):
Probe-Type Surface analyzer、SEM、Dicing Saw、Box Furnace。

公告
 
中心公告  中心聯絡資訊 2015-02-032025-02-03
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課程預約停權名單
 
儀器預約停權名單
 
吳東翰 2017-12-11
朱宗祐 2017-09-17
許展榮 2017-09-17
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黃誠印 2018-03-05
葉騰遠 2018-03-05
洪韶謙 2018-02-24
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